漢鐘干式螺桿真空泵在等離子清洗設備中的真空應用（一）

等離子體是物質的一種狀態，物質除了常見的固態、液態、氣態三態，還有第四態，就是等離子體。如果對氣態物質施加一定的能量就能使之成為等離子狀態。

在真空腔體中，通過射頻電源在一定壓力情況下起輝產生高能量的無序等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面，以達到清洗目的。

等離子清洗設備需要一套真空系統，只有真空系統內真空度達到一定壓力時才能輝光放電。真空系統由真空泵、真空管道、真空閥門、真空腔體和真空計組成。

真空泵可以采用油泵和干泵，真空泵的極限真空度要低于1Pa較為理想，真空泵較好的極限真空度才能保證清洗腔體內到達50Pa左右的工作壓力，電源在50Pa左右才能大量放電產生等離子體。真空管道采用不銹鋼焊接，管道和腔體之間安裝高真空擋板閥，用于控制真空的通斷。真空腔體可以采用不銹鋼焊接，或者鋁加工腔體，真空腔體采用內焊，腔體真空漏率極小可<1x10-9Pa·L/s。