太陽能光伏工藝-ALD

ALD是原子層沉積薄膜鈍化技術(shù)，適用于多種高效晶硅太陽能電池生產(chǎn)線的新建、改造和升級, 可以將太陽能電池轉(zhuǎn)換效率進一步提升1%以上，RIE黑硅與ALD背鈍化技術(shù)的結(jié)合，為晶硅太陽能電池效率突破、降低成本提供最佳量產(chǎn)方案。

ALD在工藝過程中產(chǎn)生的粉塵量比較大，真空泵需要不斷抽ALD設(shè)備腔體內(nèi)的氣體，真空泵卡死現(xiàn)象比較嚴(yán)重，一般進口真空泵由于結(jié)構(gòu)的問題，2-3個就會卡死，保養(yǎng)費非常高。

漢鐘在ALD有一定豐富經(jīng)驗，在原有的技術(shù)上加以改進，遠(yuǎn)遠(yuǎn)延長真空泵的使用壽命，延長真空泵保養(yǎng)周期，給客戶節(jié)省真空泵的使用成本。

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