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真空電極
2019-04-28
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真空電極
真空電極的作用是將電流引入真空系統真空腔室中的連接件，以達到導線與腔室之間絕緣和密封的條件。
真空電極材料種類常見為玻璃、陶瓷金屬封接和真空用低壓高壓型真空電極。
真空電極連接方式可分為焊接、CF、KF。
真空電極規格示意圖：
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太陽能光伏工藝-ALD
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真空泵在CNC加工中心的運用
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