漢鐘干式螺桿真空泵在等離子清洗設備中的真空應用（二）

真空等離子需要真空獲得較好的真空泵將真空腔體抽到pa級水平，通常會采用真空度較好的雙級油旋片真空泵和干式螺桿真空機組，等離子設備在第一次抽真空時需要將腔體中的氣體盡可能的抽完，殘留的氣體量越少越好，通常時抽到10Pa以內為最好。在腔體中通入氣體時，根據(jù)通入的氣體量和需要維持的真空度選用合適抽速的真空泵，如果真空泵抽速不夠，腔體內很難維持工作需要的真空度。真空泵在維持腔體真空度的同時，需要將通入的工藝氣體和產(chǎn)品產(chǎn)生的雜質抽走，所以要根據(jù)通入的氣體類型選擇不同的真空泵，如果通入的氣體有腐蝕性，需要選用干泵，如果選用油泵真空泵油和真空泵內部會被腐蝕掉。