真空材料-真空腔體材料

隨著真空應用越來越廣泛，真空腔體在制作時對材料的有一定特殊要求，主要要求如下：

1、一定的機械強度；

2、氣密性好，不應是多孔結構，不能有裂縫、小孔以及能造成漏氣的其它缺陷；

3、較低的出氣速率和滲透速率；

4、在工作溫度和烘烤溫度下的飽和蒸汽壓要足夠低；

5、化學穩定性好，不易氧化和腐蝕，不與系統中的工作介質起化學反應；

6、溫度穩定性好，在一定的溫度范圍內能保持其真空性能及機械強度；

7、加工容易，有較好的焊接性能，加工方便、價格便宜；

常用客體材料有兩大類:金屬和玻璃。

金屬的優點是機械強度高：容易實現高精度的加工。

玻璃的優點是：透明，便于觀察設備內部情況；電絕緣；可對內部的金屬零件用高頻加熱的方法除氣；能用高頻火花搶撿漏；加工方便等。玻璃的缺點是質脆易碎。

附金屬的物理性能表供選型參考：