真空室水冷

真空室水冷形式有兩種；一種室將水光螺旋式焊接在真空室外壁，另一種式真空室外部加冷卻水套，真空室熱負載大時用冷卻水套冷卻，熱負載小時用水管冷卻，亦可兩種形式混合使用。

由于水管冷卻效果差，故此只能用在加熱溫度不高的情況下，在設(shè)計、安裝冷卻水管時，應(yīng)使水管與真空腔室壁接觸良好，其接觸面積應(yīng)盡可能擴大。

當(dāng)真空腔室壁溫較高時用冷卻水套冷卻，冷卻腔的寬度由真空室的尺寸、壁的溫度決定，通常取10mm~40mm直徑，為保證冷卻效果，冷卻水應(yīng)下進上出。

           a水套冷卻示意              b開口水管冷卻             c水管冷卻  

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