真空腔室

    真空室是真空設備的主要部件之一，真空設備的生產工藝過程都是在真空腔室內進行完成的，真空腔室中裝有不同的部件，可以完成各種不同的工藝要求，大多數真空室都是由腔體、封頭、門、冷卻水套、閥門、管道等組成。

根據使用要求腔體可由筒形、圓錐形、盒型等形狀。

真空腔體對材料的要求需要滿足可焊性好、氣密性好，對于真空度要求不高的真空室一般采用低碳鋼、合金鋼、鋁材合銅材等。對于真空度較高的腔室一般采用不銹鋼。

下圖為對各類材料適用真空度參考表：