臺灣漢鐘精機干式螺桿真空機組成功應用于光伏行業ALD設備，大幅提升了ALD設備的運行穩定性。

太陽能行業PERC工藝大幅提升電池片對于光能的轉換率，新工藝受到市場的熱捧和良好反饋，通過PERC工藝的電池片市場供不應求，于是國內太陽能廠商紛紛導入PERC工藝，提升產品的競爭力。PERC工藝需要ALD設備對電池片進行雙面鍍膜，和過去PECVD材料和工藝都有所不同。ALD工藝中氧化鋁材料會產生更多的粉塵，所以對設備的真空系統是很大的考驗。除了真空泵前的粉塵捕集，對于真空泵的耐粉塵能力也是大大提升。PECVD設備傳統用多段羅茨干式真空泵組為主，由于PECVD工藝的粉塵量并不大，所以多段羅茨真空泵勉強可以使用，但是售后維修的保養也是較多，特別是經常需要更換核心部件羅茨轉子。漢鐘精機螺桿真空機組是采用螺桿形式的真空泵，其耐粉塵能力遠遠高于多段羅茨真空泵，除了常規的保養外，幾乎不用更換轉子，相比多段羅茨維護成本更低，穩定性更好。

起初ALD廠商任然沿用PECVD的真空應用，由于ALD粉塵量的增加，造成多段羅茨真空機組運行時間很短，穩定性不夠。終端用戶和設備商將真空系統更換成漢鐘干式螺桿機組，真空系統的穩定性大大提升。

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