TFT-LCD&OLED各段制程及設備

生產制程

TFT-LCD與OLED生產工藝均可分為前段Array、中段Cell與后段Module三部分。其中Array、Cell、Module三個制程的設備投入占比約為7：2.5：0.5，2447.8億的設備需求對應三個制程的設備分別為1,713億、622億、122億。

在前段Array制程上，由于OLED采用LTPS TFT背板，相較于傳統a-Si TFT LCD的Array制程，添加了激光結晶設備和離子摻雜機。

TFT-LCD與OLED在工藝流程上最大的差異在于Cell制程。TFT-LCD的Cell制程設備涉及PI涂覆/固化設備、定向摩擦設備、灌注液晶/封口設備、基板對位壓合機等一系列傳統液晶面板制作設備，OLED由于采用有機材料制作自發光的RGB畫素，在工藝流程上有所改進，引入了蒸鍍設備、噴墨打印設備以及封裝機等設備。

兩者的Module制程設備基本相同。

OLED產業鏈

 

 

 

TFT-LCD生產設備

Array

Cell

 

Module

 

OLED生產設備

Array

 

 

Cell

Module

 

 

OLED前段Array制程

前段制程主要設備與供應商

清洗設備

日本：Hitachi High-Technologies, STI, Kaijo, DNS Electronics, Shibaura Mechatronics；

韓國：DMS, KC Tech, SEMES;

PECVD機

日本：ULVAC, Tokyo Electron, Wonik IPS;

韓國：Jusung Engineering, SFA Engineering;

美國：AKT, AMAT；

濺射鍍膜機

日本：ULVAC,Tokyo Electron,Canon Anelva;

韓國：Avaco, SFA, Iruja;

美國：AKT, AMAT;

涂膠機

日本:Tokyo Electron, Tokyo Ohka Kogyo, Toray Engineering, DNS Electronics;

韓國：DMS,KC Tech,Semes;Canon, Nikkon

曝光設備

日本：Canon, Nikon;DNS, Kashiyama, KC Tech

顯影設備

日本:Tokyo Electron, DNS Electronics, Hitachi High-Technologies, STI, Shibaura Mechatronics;

韓國：DMS,KC Tech, Semes;ENF Tech, Nepes

干法蝕刻機

日本：ULVAC,Tokyo Electron,DNS Electronics;

韓國：Wonik IPS,LIG ADP;ICD, Invenia, TEL,Wonik,IPS

濕法蝕刻機

日本：Hitachi High-Technologies, STI, Kaijo, DNS Electronics, Shibaura Mechatronics；

韓國：DMS,KC Tech, SEMES, SFA;

剝離設備

Dongjin Semichem／ENF Tech

退火機

Terasemicon, Viatron

激光退火結晶爐

日本：Japan Steel Works;

韓國：AP Systems,Dukin;

金屬誘導結晶爐

韓國：Tera Semicon;

ULVAC愛發科：Array與CF制程設備供應商
ULVAC是日本的真空技術先驅，在半導體制造及平板顯示器制造方面，以真空技術為基礎開發了許多重要的先進設備。公司的平板顯示器制造設備包括濺射鍍膜設備、蒸鍍設備、CVD設備、蝕刻設備和離子摻雜機，可用于LCD和OLED的TFT面板制造以及OLED有機發光層沉積。公司SMD系列最新的SMD-3400濺射鍍膜機可以完成10.5代的基板制作工藝。

ULVAC在LCD平板電視制造設備市場份額占據全球第一，其濺射鍍膜設備在全球市場份額超過80%。2016年ULVAC總銷售額為1,924億日元，其中FPD和PV相關生產設備凈銷售額達828億日元，占總凈銷售額的43%。中國市場的凈銷售額占全世界凈銷售額的24%，是ULVAC的第二大市場，僅次于日本的43%。

OLED中段Cell制程

中段制程主要設備與供應商

清洗設備

airahdo、evatech、kaijo、芝浦、島田理化、日立

貼偏光板設備

ites、中央理研、murakami、medeeku

檢測設備

astrodesign、石井、kosumo、東京電子、McScience、精測電子

PI涂覆/固化設備

nakan、日本寫真印刷

定向摩擦設備

常陽工學、河口湖精密

印刷或點涂封框膠設備

河口湖精密、日立、musashi、newlong

灌注液晶／封口設備

anelva、ayumi、河口湖精密、共榮制御、協真、島津、神港精機

噴襯墊粉設備

日清、esui

基板對位壓合機

日立、信越、常陽工學

蒸鍍設備

日本：ULVAC,Hitachi High-Technologies,Tokki(Canon);

韓國：SNU,SFA,LIG ADP,Avaco,Wonik IPS,Sunic System(Dong A Eltek),Jusung Engineering;

噴墨打印設備

MicroFab、Ulvac、精工愛普生

封裝機

日本：ULVAC,Hitachi High-Technologies,Tokki(Canon);

韓國：SNU,SFA,LIG ADP,Avaco,Wonik IPS,Sunic System(Dong A Eltek),Jusung Engineering,AP Systems;

玻璃封裝設備

AP System, Avaco, Jusung Eng

金屬板封裝設備

AP System

薄膜封裝設備

AMAT, Invenia, Jusung Eng, Kateeva

后段制程
Module制程將封裝完畢的面板切割成實際產品大小，再進行偏光片貼附、控制線路與芯片貼合等各項工藝，并進行老化測試以及產品包裝，主要涉及TAB-IC/OLB設備、PCB設備、貼合設備、檢測設備。

后段制程主要設備與供應商
TAB-IC／OLB設備

Calvary Automation、大橋、大崎、新川、日立、misuzu

PCB連接設備

Calvary Automation、Kosumo minato

貼合設備

智云股份、聯德裝備、Sun Tec

檢測設備

精測電子、4JET

后段制程主要國產設備供應商

鑫三力

主要產品：全自動COG及全自動FOG等高精度邦定類設備、全自動分膠機、精密點膠機、粒子檢測機、全自動端子清洗機、ACF貼附機等

主要客戶：TPK、京東方、天馬、華星光電、信利、合力泰、TCL等

聯得裝備

主要產品：平板顯示模組組裝設備，包括清洗機、偏光片貼附機、AOI設備（收購華洋后）、ACF 粘貼機、FOG 邦定機、COG 邦定機、PCB 組裝機、背光疊片機、背光-模組組裝機等

主要客戶：富士康、歐菲光、 信利國際、京東方、深天馬、藍思科技、超聲電子、南玻、長信科技、勝利精密、宇順 電子、華為、蘋果等

集銀科技

主要產品：全自動高精度貼偏機、LCD端子清洗機、COG全自動邦定機、FOG全自動邦定機、全自動貼合機、全自動組裝機等高度自動化設備

主要客戶：歐姆龍、JDI、夏普、天馬等

精測電子

 

主要產品：檢測系統、面板檢測系統、OLED檢測系統、AOI光學檢測系統、Touch Panel檢測系統和平板顯示自動化設備

主要客戶：華星光電、中電熊貓、京東方等