低溫泵

低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。

低溫泵種類和結構：

低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環氣氦制冷機低溫泵兩種。

立式結構：適于埋裝在地下，不會受電動機熱風、空氣溫度和日照等影響，易于保冷；能降低泵的吸上高度，增加灌注頭，提高有效汽蝕余量；立式結構還有利于排氣，使懸掛軸有足夠高度便于布置軸封裝置，故該泵也稱為立式筒型泵。

對稱結構：泵的總體結構力求對稱布置，以便在冷態下能均勻變形。冷頭一般采用二級機構，第一級達到80K,第二級達到溫度10K。

雙層殼體：為了保冷方便和有利于輸送危險介質，通常都制成雙層殼體，內殼里面承受泵壓，內外殼之間是吸入壓力，這樣可適當降低內殼的強度要求。外殼需做成真空夾層，已達到隔熱效果。

低溫泵優點：

(1)低溫泵在獲取潔凈和無油真空方面，具有其他產品無法相比的優勢。它可以作為研究其他真空泵對真空污染程度的標準；

(2)低溫泵在抽除水蒸汽和其他潮濕混合氣方面具有較大抽速；

(3)低溫泵在抽取輕重量分子方面也具有較大抽速；

(4)在要求大抽速的真空設備中，低溫泵是最經濟的。商品化的低溫泵可以在很小的口徑下提供大的抽速

(5)低溫泵是基于低溫吸附而工作的，不需要其他電子材料，不會有波動；

(6)在真空中無任何運動部件，高穩定性，也不會帶來密封問題；

(7)低溫泵的安裝無任何方向要求；

(8)低溫泵還可以進行選擇性的抽取某種氣體。