漢鐘干式螺桿泵之PECVD應用

由于目前國內半導體生產制造企業在半導體設備研發、技術不夠成熟、過于依賴國外的設備及技術且設備及技術被國外公司壟斷卡死。

因此半導體行業成為國家的重點改造及大力扶持的重中之重。針對半導體制造設備提出嚴格要求。

《中國制造2025》對于半導體設備國產化提出了明確要求：在2020年之前，90~32納米工藝設備國產化率達到50%，實現90納米光刻機國產化，封測關鍵設備國產化率達到50%。在2025年之前，20～14納米工藝設備國產化率達到30%，實現浸沒式光刻機國產化。到2030年，實現18英寸工藝設備、EUV光刻機、封測設備的國產化。

半導體的制造從硅砂至成品、很多工藝需要使用真空、由于國內真空設備起步較德國、美國、日本等較晚、很多技術達不到要求、不得不選用進口泵。

漢鐘精機經過多年來的摸爬滾打、在真空領域已然站穩腳步、在化工醫藥、光伏、半導體及鋰電等行業的認可及口碑。漢鐘的生產技術工藝已然達到國際水準、箭頭直指國外各品牌。

響應國家號召、漢鐘螺桿真空泵成為國內半導體設備替換首先品牌。

近年來國內很多企業PECVD設備上采用漢鐘螺桿真空泵、感謝中國電子科技集團四十八所、天合光能股份有限公司、臺灣茂迪股份有限公司等等企業對漢鐘的認可及支持。

漢鐘品質、值得信賴。

漢鐘干式螺桿泵之PECVD應用

由于目前國內半導體生產制造企業在半導體設備研發、技術不夠成熟、過于依賴國外的設備及技術且設備及技術被國外公司壟斷卡死。

因此半導體行業成為國家的重點改造及大力扶持的重中之重。針對半導體制造設備提出嚴格要求。

《中國制造2025》對于半導體設備國產化提出了明確要求：在2020年之前，90~32納米工藝設備國產化率達到50%，實現90納米光刻機國產化，封測關鍵設備國產化率達到50%。在2025年之前，20～14納米工藝設備國產化率達到30%，實現浸沒式光刻機國產化。到2030年，實現18英寸工藝設備、EUV光刻機、封測設備的國產化。

半導體的制造從硅砂至成品、很多工藝需要使用真空、由于國內真空設備起步較德國、美國、日本等較晚、很多技術達不到要求、不得不選用進口泵。

漢鐘精機經過多年來的摸爬滾打、在真空領域已然站穩腳步、在化工醫藥、光伏、半導體及鋰電等行業的認可及口碑。漢鐘的生產技術工藝已然達到國際水準、箭頭直指國外各品牌。

響應國家號召、漢鐘螺桿真空泵成為國內半導體設備替換首先品牌。

近年來國內很多企業PECVD設備上采用漢鐘螺桿真空泵、感謝中國電子科技集團四十八所、天合光能股份有限公司、臺灣茂迪股份有限公司等等企業對漢鐘的認可及支持。

漢鐘品質、值得信賴。