晶圓的探針臺(tái)測(cè)試，需要將將檢測(cè)的晶圓片固定在測(cè)試平臺(tái)上，通過(guò)探針來(lái)檢測(cè)晶圓的品質(zhì)性能，晶圓的固定在平臺(tái)上是通過(guò)真空的吸附。探針臺(tái)的真空吸附的真空度在-50kpa以上，對(duì)于真空要求不是很高，但是之前一對(duì)一的配泵會(huì)對(duì)測(cè)試車(chē)間的產(chǎn)生很大的噪音影響，所以目前是針對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行系統(tǒng)真空的供應(yīng)，通過(guò)管道將真空送到每個(gè)機(jī)臺(tái)，進(jìn)行晶圓的真空吸附，系統(tǒng)真空不會(huì)影響車(chē)間環(huán)境，另外比一對(duì)一的配泵更加節(jié)能，運(yùn)行成本更低。

                                                                                          昆山帕斯卡真空技術(shù)有限公司

                                                                                                2017年12月10日