真空發(fā)生器：利用正壓氣源產(chǎn)生負(fù)壓的一種真空元器件，需要大量的壓縮空氣，所以需要空壓機(jī)來提供壓縮空氣，只適合少量使用，不適合工廠大批量的使用真空發(fā)生器。

空壓機(jī)的能耗較高，在提倡節(jié)能環(huán)保的環(huán)境下，真空發(fā)生器不適合應(yīng)用。

油螺桿真空泵：油螺桿是用油來潤滑，CNC加工中心在加工器件時(shí)有一些汽銷液，汽銷液會(huì)被吸入真空泵，破壞真空泵中的潤滑油，真空泵的潤滑油使用周期短，真空泵故障率高，所以后期保養(yǎng)成本高，油螺桿真空泵不適合CNC。 

油旋片泵：油旋片泵也是用油來潤滑，汽銷液會(huì)被吸入真空泵，破壞真空泵中的潤滑油，真空泵的潤滑油使用周期短，真空泵故障率高，油旋片泵不能直接抽大氣、抽氣量小。需要多臺(tái)帶動(dòng)正廠。所以后期保養(yǎng)成本高，油旋片泵不適合CNC。